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麻省理工学院的研究人员采用相干重叠技术，没有借助一个透镜，仅使用反射镜把15束激光聚焦成一个直径180nm的光斑。相干重叠技术是实现X射线、紫外和红外光会聚的理想方式，而透镜在上述波段很难甚至不可能实现有效聚焦。这种方法完全采用反射式元件，而且实验设备的搭建无需亚波长精确度。（Appl．Phys．Lett．88，261107）