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压电晶圆表面形貌特征参数是影响光刻剥离工艺及器件批生产成品的关键技术基础。基于声表面波（SAW）器件剥离工艺,该文提出并量化了晶圆材料表面形貌表征参数体系：翘曲度（BOW）、平坦度（GBIR）、小区平坦度（SBIR）、小区平坦度合格率（PLTV）等,并给出了晶圆材料表面形貌表征参数的测试方法及对光刻工艺参数的影响。