【摘 要】
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ＭＯＳ２溅射薄膜是空间机械应用最广的润滑薄膜材料之一，但其在潮湿空气中却存在着润滑性能退化甚至失效的问题．作者依据基础研究及使用要求，研制出新型射频共溅射ＭＯＳ２基（ＭＯＳ２－４）薄膜．结果表明，ＭＯＳ２－４共溅射
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室
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ＭＯＳ２溅射薄膜是空间机械应用最广的润滑薄膜材料之一，但其在潮湿空气中却存在着润滑性能退化甚至失效的问题．作者依据基础研究及使用要求，研制出新型射频共溅射ＭＯＳ２基（ＭＯＳ２－４）薄膜．结果表明，ＭＯＳ２－４共溅射薄膜具有良好的摩擦学特性和耐潮湿性能．与ＭｏＳ２溅射薄膜比较，其在真空环境中的耐磨寿命提高４倍以上．多组元之间的协同效应是使薄膜性能大幅度改善的根本原因．
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