【摘 要】
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一、引言政变沉极过程中的工艺参数,会获得性能各异的氮化钛沉积层。而这种性能上的差异,则要归结于沉积层内部结构的不同。因而,研究沉积层的微观结构是控制其性能的必不可
【机 构】
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清华大学核能技术研究所,清华大学核能技术研究所
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一、引言政变沉极过程中的工艺参数,会获得性能各异的氮化钛沉积层。而这种性能上的差异,则要归结于沉积层内部结构的不同。因而,研究沉积层的微观结构是控制其性能的必不可少的手段。氮化钛在结晶生产过程中的择优取向程度(织构)就是决定其性能的
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