【摘 要】
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以铜为催化剂,甲烷为碳源,采用化学气相沉积法在石英单晶基底上生长定向单壁碳纳米管阵列,分别用扫描电子显微镜、原子力显微镜对其结构进行表征,研究了使用聚合物聚乙烯丙烯
【机 构】
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长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
【基金项目】
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苏州市科技计划项目（SS0851）
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以铜为催化剂,甲烷为碳源,采用化学气相沉积法在石英单晶基底上生长定向单壁碳纳米管阵列,分别用扫描电子显微镜、原子力显微镜对其结构进行表征,研究了使用聚合物聚乙烯丙烯酸甲脂（PMMA）分散催化剂对碳纳米管密度和定向性的影响,利用PMMA分散催化剂能提高催化剂的活性,增加定向碳纳米管的密度,使催化剂形成规则的条状,能进一步提高其密度和定向性。采用微加工工艺做成器件,并利用半导体参数测试仪对器件进行了电学测试。
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