【摘 要】
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6JA 型干涉显微镜不但是一种测量精密加工表面光洁度的仪器,而且常用于厚度测试.仪器光源为白炽钨丝灯(6V,5W),备有绿色干涉滤光片(λ=0.536μm,半宽80A),可分别用单色光和白
【机 构】
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中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所
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6JA 型干涉显微镜不但是一种测量精密加工表面光洁度的仪器,而且常用于厚度测试.仪器光源为白炽钨丝灯(6V,5W),备有绿色干涉滤光片(λ=0.536μm,半宽80A),可分别用单色光和白光进行测量,由公式求得表面的不平深度(或薄膜厚度)t,式中λ为所用光波长,N为对应条之间相隔的条纹数,
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