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利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的在线检测,并可对损伤点的图像进行分析处理,最后提出通过减小像差和扩大检测范围的方法来改进该装置的检测效果。
光学元件损伤在线检测装置及实验研究
【摘 要】
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利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800; 上海201800; 上海201800;
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家863计划项目资助课题
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