在铝反射镜上镀防腐蚀电介质膜的反应离子镀膜法

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【摘要】

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<正> 由于用真空蒸镀法和热蒸发或电子法沉积的金属膜易碎,并且膜表面微型结构呈柱状,而柱状结构之间有间隙,因此易吸湿和被气体和液体腐蚀.本文主要阐述用反应离子辅助沉积

【作者】

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吴桂英

【出处】

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光机电信息

【发表日期】

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1996年2期

【关键词】

：

铝反射镜电介质膜反应离子镀膜法

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<正> 由于用真空蒸镀法和热蒸发或电子法沉积的金属膜易碎,并且膜表面微型结构呈柱状,而柱状结构之间有间隙,因此易吸湿和被气体和液体腐蚀.本文主要阐述用反应离子辅助沉积法为铝反射镜镀防护膜.当用反应离子辅助沉积法镀的最好的反射镜浸没在NaOH中20小时,反射镜反射率降低10%.而用以往方法镀的膜做同样的实验,反射镜

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