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来源 :功能材料 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文首先利用离子束溅射聚四氟乙烯靶材的方法制备了薄膜,进而研究了其结构。由XPS的结果可知,所得薄膜主要由CF2结构组成;由FT-IR的结果可知,在1169cm^-1和1083cm^-1处出现了C-F的最强吸收峰,在734cm^-1,619cm^-1和500cm^-1处出现了聚四氟乙
【作 者】
:
王立铎
贺小明
【机 构】
:
清华大学材料科学与工程系
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1997年6期
【关键词】
:
离子束溅射沉积
聚四氟乙烯
薄膜
ion beam sputtering deposition
teflon
thin film
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