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针对现有雾中电火花加工过程中放电过程稳定性不足的问题,采用去离子水超声雾化及工件端施加辅助超声振动的方式以提高加工过程的稳定性。分别以自来水及纯水产生的雾介质为工作介质进行电火花加工对比实验,结果表明：以超声雾化方式获得的微细雾介质,可有效降低短路率。同时还进行了侧向喷雾加工试验,发现通过侧向喷雾,可以进一步提高加工过程的稳定性,获得更好的加工效果。