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采用溶胶-凝胶（sol-gel）自旋涂敷法在Si（100）基多孔氧化铝模版介质上制备了Pb（Zr0.53Ti0.47）O3（PZT）纳米铁电薄膜（厚度25nm）。利用电化学方法在多孔氧化铝模版孔道内（孔径25nm）生长Au纳米线,作为底电极一部分。利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）及场发射透射电镜（FE-TEM）对PZT纳米铁电薄膜的生长行为、表面形貌和微结构进行了研究。XRD谱图表明PZT纳米铁电薄膜具有（111）择优取向;SEM像显示PZT纳米铁电薄膜结构致密,晶粒呈椭球状,平均尺寸为22n