类富勒烯薄膜的载荷依赖摩擦滞后行为研究

• 作 者: 杨保平 薛勇 张斌 王永富 王兆龙 张俊彦
• 机 构: 兰州理工大学石油化工学院,中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
• 出 处: 表面技术
• 发表日期: 2017年9期
• 关键词: 类富勒烯薄膜 力学性能 循环载荷 摩擦滞后 吸附 氧化反应 fullerene-like films mechanical properties cyclic

目的研究类富勒烯薄膜（FL-C：H）的载荷相关性摩擦滞后行为。方法采用直流等离子体化学气相沉积技术（DC-PECVD）在硅基底上制备了FL-C：H薄膜，通过场发射扫描电镜（FE．SEM）、X射线光电子能谱（XPS）、高分辨透射电镜（HRTEM）和拉曼光谱仪分别表征了薄膜的厚度、元素结合能状态以及微观结构，利用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性恢复，借助往复摩擦磨损试验机考察了不同频率时变载荷条件下的摩擦滞后行为。结果以CH4和H2为前躯体制备的FL-C：H薄膜具有良好的机械性能，硬度和弹性模量分别为23．4