【摘 要】
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本文讨论了膜系控制误差模拟计算的方法,并利用此方法计算了控制误差对诱导透射滤光片特性的影响;对诱导透射滤光片的两种控制方法作了计算机模拟。模拟结果表明,诱导透射滤
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本文讨论了膜系控制误差模拟计算的方法,并利用此方法计算了控制误差对诱导透射滤光片特性的影响;对诱导透射滤光片的两种控制方法作了计算机模拟。模拟结果表明,诱导透射滤光片的直接监控具有较高的成品率。实验结果与理论模拟是符合的。
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