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【摘 要】
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通过单因素法研究了抛光液中的各组分(双氧水、络合剂乙二胺、缓蚀剂BTA)的浓度对固结磨料抛光铜材的表面粗糙度及材料去除速率的影响。结果表明:在试验浓度范围内,随着双氧
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室,上海航天控制技术研究所
【出 处】
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金刚石与磨料磨具工程
【发表日期】
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2013年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金(5711260),中央高校基本科研业务费专项资金(NO.NP2012506)
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