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采用化学气相沉积法（CVD）在导电玻璃衬底上制备了Mg掺杂的ZnO微纳米棒、微纳米球,实验过程不需要催化剂.X射线衍射仪（XRD）分析结果表明制备的Mg掺杂ZnO微纳米棒仍具有六方铅锌矿结构.利用扫描电子显微镜（SEM）观测,750℃恒温、载入氩气流速为100 mL/min的样品,有微纳米棒、微纳米球的生成.能谱图（EDS）和光致发光谱测试表明微纳米棒中有Mg的掺入.