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本文介绍的扩散硅绝对压力力敏器件采用集成电路平面工艺、真空静电封接技术制造。器件灵敏度高、精度高、稳定性好。适合于测量粗真空度和制作绝对压力变送器。
绝对压力力敏器件的研究
【摘 要】
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本文介绍的扩散硅绝对压力力敏器件采用集成电路平面工艺、真空静电封接技术制造。器件灵敏度高、精度高、稳定性好。适合于测量粗真空度和制作绝对压力变送器。
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1991年04期
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