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主要描述了微机械器件宏模型的构建问题。以微悬臂梁为例子，阐述了等效电路法、节点分析法、S-空间矩匹配方法、模态-Galerkin方法构建微机械宏模型的研究概况以及各个宏建模方法的优、缺点。
微结构器件宏模型的建模方法
【摘 要】
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主要描述了微机械器件宏模型的构建问题。以微悬臂梁为例子，阐述了等效电路法、节点分析法、S-空间矩匹配方法、模态-Galerkin方法构建微机械宏模型的研究概况以及各个宏建模
【机 构】
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温州职业技术学院电气工程系,浙江大学机械与能源工程学院
【出 处】
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机电工程
【发表日期】
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2007年1期
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