NOVELLUS力推用于65nm以及更小规格技术标准的先进平面化系统

来源 :电子设计应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sea0972
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着摩尔定律把半导体行业推向亚微米级,芯片制造商们不得不面对更大的挑战。他们必须适应行业的新材料如铜和低k材料,以及较大的300mm圆片和更小的芯片结构。提高沉积、化学机械抛光、光刻、清洗、蚀刻、剥离及过程控制等重要工艺步骤的效率,变得越来越重要。对于激烈竞争的代工巨头来说,谁掌握了先进的工艺谁就掌握了整个市场的制胜权,从而对半导体材料公司提出了更高的要求。
其他文献
在捕获所有波形的特性信息方面,数字荧光示波器(DPO)提高了检测结果的置信度。这种置信度的提升是通过提高波形捕获速率而取得的,这一速率远远高于任何最先进的DSO。
信道解码是现代移动通信系统中的核心技术之一,本文根据3G标准之一WCDMA的要求,开发了一种能够根据不同业务,提供包括Viterbi解码、Turbo解码以及无编码方式的多功能信道解码
英国政府鼓励开发页岩气,但并不保证其商业可行性的关键因素——地下资源的质量和良好开采性能。政府取消了对水力压裂的临时禁令,并讨论了鼓励页岩气开发的经济激励措施。英国
中国目前是世界第三大汽车消费市场和第四大整车生产基地。虽然现在中国生产的汽车电子的总量内容还较低,但在未来的十年之内将会增长起来。这种增长又促使中国国内汽车和汽车
第二代高速数字用户线(HDSL2)是接入网领域的最新一代铜线接入技术.本文介绍了Conexant公司的CN8980芯片组的结构和特性,分析其工作原理,给出了采用CN8980芯片组设计HDSL2设
本文介绍了一种采用PIC单片机作为控制核心的船泊温度巡测装置.其硬件电路设计采用多种新型元器件及采取严格的抗干扰措施;软件设计采用数字滤波技术、指令冗余和软件陷井等
期刊