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【摘 要】
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TONIC是Renishaw推出的新款超小型非接触式光栅，在线性和旋转应用中均可达到10m／s的速度和高至5nm的分辨率。TONIC显著提高了Renishaw现有高速非接触式光栅的性能，进一步改善了
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2010年9期
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