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2015年中国在制造半导体设备方面有了新进展。一批高端集成电路制造设备成功进入大规模集成电路生产线,实现了装备销售。展望2016年的中国半导体设备市场,集成电路设备将继续保持快速增长。2016年在02专项和国家集成电路发展基金的支持下,更多的国产集成电路设备将实现产业化。
中国半导体设备制造业2015年经济运行分析和2016年展望
【摘 要】
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2015年中国在制造半导体设备方面有了新进展。一批高端集成电路制造设备成功进入大规模集成电路生产线,实现了装备销售。展望2016年的中国半导体设备市场,集成电路设备将继续
【机 构】
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中国电子专用设备工业协会
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2016年11期
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