【摘 要】
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近年来,航空航天领域的飞速发展要求振动测量技术能耐受更高温度,因此高温压电加速度传感器备受关注.通过优化压电晶体切型和设计质量块结构,该文设计并制备了基于硅酸镓钽钙
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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近年来,航空航天领域的飞速发展要求振动测量技术能耐受更高温度,因此高温压电加速度传感器备受关注.通过优化压电晶体切型和设计质量块结构,该文设计并制备了基于硅酸镓钽钙(CTGS)压电单晶材料的压电加速度传感器.实验结果表明,该传感器的谐振频率约为2.2 kHz.在振动频率为100 Hz～1.1 kHz下,常温时传感器的电荷灵敏度基本稳定,平均值为2.44 pC/g(g=9.8 m/s2).在常温～600℃内,传感器的电荷灵敏度基本保持不变,1.1 kHz振动频率下传感器的电荷灵敏度平均值为2.56 pC/g.该传感器能在600℃高温下稳定工作.
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