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系统分析了具有代表性的半导体薄膜热导率测试结构的模型、结构特点、测量方法及不足;对表面加工和CMOS工艺,需要进行测试结构的合理设计和提高薄膜热导率测量的精确度.
MEMS薄膜热导率测试结构
【摘 要】
：
系统分析了具有代表性的半导体薄膜热导率测试结构的模型、结构特点、测量方法及不足;对表面加工和CMOS工艺,需要进行测试结构的合理设计和提高薄膜热导率测量的精确度.
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2002年6期
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