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通过相关计算,分析了离焦散斑错位干涉术的逐步滤波方法,得到了杨氏条纹的形成及分布特性。讨论了逐点滤波法的实用意义并给出了在缺陷检测中的应用实例。
离焦散斑错位干涉术的逐点滤波分析与应用
【摘 要】
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通过相关计算,分析了离焦散斑错位干涉术的逐步滤波方法,得到了杨氏条纹的形成及分布特性。讨论了逐点滤波法的实用意义并给出了在缺陷检测中的应用实例。
【机 构】
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西北工业大学应用物理系,西北工业大学应用物理系西安710072,西安710072,西安710072
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1993年4期
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