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微系统的几何特征能被触觉或光的介绍技术决定，它显示出不同非线性的转移特征。这不得不特别被考虑，如果仪器近操作到他们的物理限制。取决于点明智的特定的测量任务任何一个或光测量可以是的 areal 有益。因此，为两条途径的例子被讨论。而且，系统的效果，它与测量原则有关不得不被考虑，例如如果锋利的边或斜坡在测量上是在场的，反对。作为它被显示出，为白光的 interferometry 这些困难能被一种二波长的技术解决。