高频等离子法制取超细Si3N4粉末

来源 :钢铁研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lowner

【摘要】

：

本文述及高频等离子法制取超细Si3N4粉末的原理、装置,工艺参数及粉末性能的一些检测结果。利用SiCl4+NH3气-气相反应,所得白

【作者】

：

张智伯谭益钦邵国强庄祎哲朱清文阎家坪赵俊平

【机构】

：

钢铁研究总院,中国科学院力学研究所,中国科学院力学研究所

【出处】

：

钢铁研究学报

【发表日期】

：

1990年1期

【关键词】

：

高频等离子体超细粉末非晶晶化 R. F. plasma ultrafine powder amorphous crystallization.

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本文述及高频等离子法制取超细Si3N4粉末的原理、装置,工艺参数及粉末性能的一些检测结果。利用SiCl4+NH3气-气相反应,所得白色粉末含有NH4Cl晶体,热重分析表明350℃失重停止,280℃失重速率最快,经400～700℃处理后的粉末仍为非晶,不含NH

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