用激光制备非晶金刚石薄膜瞬态发射光谱的原位监测

来源 :量子电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：littleboy88521

【摘要】

：

非晶金刚石薄膜具有硬度高、耐高温高压和高的化学稳定性,在许多领域得到广泛应用。特别是它在 Amorphous diamond film with high hardness, high temperature and pressu

【作者】

：

马玉蓉郭骅聂劲松

【机构】

：

中国科技大学物理系,中国科技大学物理系,中国科技大学物理系 230026,230026,230026

【出处】

：

量子电子学

【发表日期】

：

1991年04期

【关键词】

：

金刚石薄膜化学稳定性光谱瞬态激光原位监测脉冲激光薄膜特性反应室硬度

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非晶金刚石薄膜具有硬度高、耐高温高压和高的化学稳定性,在许多领域得到广泛应用。特别是它在 Amorphous diamond film with high hardness, high temperature and pressure and high chemical stability, has been widely used in many fields. Especially in it

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