【摘 要】
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用旋涂工艺和致孔法制备了一组聚甲基硅氧烷纳米多孔薄膜,用红外吸收光谱(FT-IR)、热重分析(TGA)对其进行表征,用同步辐射光源进行小角X射线散射测试,在掠入射模式(GISAXS)下
【机 构】
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暨南大学理工学院材料科学与工程系,中国科学院高能物理研究所同步辐射国家实验室,
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用旋涂工艺和致孔法制备了一组聚甲基硅氧烷纳米多孔薄膜,用红外吸收光谱(FT-IR)、热重分析(TGA)对其进行表征,用同步辐射光源进行小角X射线散射测试,在掠入射模式(GISAXS)下进行微孔结构分析。结果表明,聚甲基硅氧烷前驱体与致孔剂具有良好的相容性;薄膜的小角散射曲线均不遵守Porod定理、形成正偏离;所有纳米多孔薄膜具备孔分形特征;薄膜基体与孔结构之间存在微电子密度起伏,且薄膜孔径小于3 nm。
A series of polymethylsiloxane nanoporous films were prepared by spin-coating and pore-forming methods. The films were characterized by FT-IR and TGA. Ray scattering test, microscopic pore structure analysis with GISAXS. The results showed that the polymethylsiloxane precursors and porogen had good compatibility. The small-angle scattering curves of the films did not obey the Porod’s theorem and formed positive deviations. All the nanoporous films possessed pore fractal characteristics. The film matrix and pores Microelectronic density fluctuations exist between the structures and the film pore size is less than 3 nm.
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