【摘 要】
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在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备胡问国（云南大学物理系）Ａ．Ｐ．Ｄｌｏｋｉｎｇ．Ｓ．Ｉ．Ｚａｉｚｈｅｖ，Ｅ．Ｉ．Ｒａｕ，Ｎ．Ｇ．ＵｓａｋｏＶ（俄罗斯科学院）关键词：新设备，分层体现图像，场发射尖锥，真空微电子器件。众所周知，用扫描电镜只能对...
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在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备胡问国（云南大学物理系）Ａ．Ｐ．Ｄｌｏｋｉｎｇ．Ｓ．Ｉ．Ｚａｉｚｈｅｖ，Ｅ．Ｉ．Ｒａｕ，Ｎ．Ｇ．ＵｓａｋｏＶ（俄罗斯科学院）关键词：新设备，分层体现图像，场发射尖锥，真空微电子器件。众所周知，用扫描电镜只能对...
A NEW APPARATUS FOR DETECTING VACUUM MICROELECTRONIC DEVICE IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE Wu Wen - guo (Department of Physics, Yunnan University). P. Dloking. S. I. Zaizhev, E. I. Rau, N. G. UsakoV (Russian Academy of Sciences) Keywords: new equipment, layered image, field emission cone, vacuum microelectronic device As we all know, with scanning electron microscope only ...
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