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为了强激光工程的需要，研究制造了一台口径３６０ｍｍ卧式激光平面干涉仪。仪器的测量精度为λ／２０，仪器配有ＣＣＤ相机图像处理系统，可目测，可拍摄照片，也可进行化处理，实用结果表明，该仪器是一台适合于光学车间生产检验的大口径高精度激光平面干涉仪。
Φ360mm激光平面干涉仪
【摘 要】
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为了强激光工程的需要，研究制造了一台口径３６０ｍｍ卧式激光平面干涉仪。仪器的测量精度为λ／２０，仪器配有ＣＣＤ相机图像处理系统，可目测，可拍摄照片，也可进行化处理，实用结果表明，该仪器是一台适合于
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2000年2期
【基金项目】
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86 3- 416专题资助
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