【摘 要】
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电子气体广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,常用于化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀及参杂等。电子气体的提纯、储运及纯度检测是高质量产品的核心技术。
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电子气体广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,常用于化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀及参杂等。电子气体的提纯、储运及纯度检测是高质量产品的核心技术。从全球角度来看,国际前五大气体龙头依旧以工业气体为主要营收业务(营收占比超过80%),国内的情况略有差异,工业气体行业由于进入门槛不高,资本投入较低,并未完成行业内的整合,而电子特气由于纯度要求和下游客户认证周期,门槛较高,电子特气业务占比和下游客户结构成为衡量龙头企业的核心标准。
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