【摘 要】
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高纯双氧水是半导体生产中不可缺少的配套材料,过去这一产品主要依赖进口,如今这一历史宣告结束。2006年10月24日,国内首家生产高纯电子双氧水企业——苏瑞电子材料有限公司
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高纯双氧水是半导体生产中不可缺少的配套材料,过去这一产品主要依赖进口,如今这一历史宣告结束。2006年10月24日,国内首家生产高纯电子双氧水企业——苏瑞电子材料有限公司在苏州吴中经济开发区落成投产,主要生产的100×10-12级别高纯双氧水为200mm~300mm IC企业提供配套。苏?
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