论文部分内容阅读
镀膜装置及镀膜方法，镀膜装置包含转盘、遮板及镀材源；转盘是能规律旋转；遮板是依照镀膜层的特定厚度而设成，且设置于靠近基板的位置；镀材源是与转盘相对而设，并使遮板介于两者之间。镀膜方法包括将基板设置于能规律旋转的转盘上；将依照镀膜层的特定厚度所设成的遮板设置于靠近基板的位置以及利用镀材源将镀膜层镀于基板上。具有于一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层的功效。