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采用脉冲激光沉积法制备了VO2薄膜，应用X射线衍射和X射线光电子能谱分析表明样品为多晶薄膜。采用泵浦一探针方法研究了二氧化钒薄膜的相变特性，实验结果表明当激光重复频率为160Hz时，样品最小相变响应为12ns，相变恢复时间与激光能量按照自然指数关系变化。仿真结果表明当激光能量一定时，二氧化钒薄膜相变恢复时间与衬底材料的热导率、热扩散系数有关。