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本文利用有限差分方法计算了真空微电子三极管中的电势与电场分布，研究了尖端顶部的电场受尖端曲率半径及栅圆坏直径的影响情况，并模拟计算了该管的静态输出特性。另外通过改变尖锥及栅圆环的参数，详细研究了栅阴电容的变化情况，该模拟结果与已报道的实验结果符合较好。
真空微电子三级管直流特性及栅阴极电容的计算机模拟
【摘 要】
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本文利用有限差分方法计算了真空微电子三极管中的电势与电场分布，研究了尖端顶部的电场受尖端曲率半径及栅圆坏直径的影响情况，并模拟计算了该管的静态输出特性。另外通过改变
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,国防科技预研基金
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