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该设备是以Nd：KGW激光器为光源的掩膜微加工技术设备，为国际创新。它可广泛用于微电子器件、介入医疗器械、微机械、微标识、特殊异型孔加工、金刚石等超硬材料加工等高新技术领域。
Nd：KGW激光掩膜微加工设备
【摘 要】
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该设备是以Nd：KGW激光器为光源的掩膜微加工技术设备，为国际创新。它可广泛用于微电子器件、介入医疗器械、微机械、微标识、特殊异型孔加工、金刚石等超硬材料加工等高新技术
【出 处】
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科技开发动态
【发表日期】
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2004年12期
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