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研究了用磁控溅射方法制备的Gex/Si1-x多层膜的Ge拉曼光谱，在分析了多层膜中Ge微晶的分布和采用微晶壳层 结构假设的条件下，考虑了微晶表面效应的影响，用声子限域模型计算了Ge纳米晶粒的拉曼谱线，拉曼拟合谱线为三条理论谱线的叠加。计算结果表明：在考虑了微晶的表面效应后，拟合结果与实验结果符合得很好。