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直流辉光放电等离子体增强化学气相法制备金刚石及氮化碳薄膜
直流辉光放电等离子体增强化学气相法制备金刚石及氮化碳薄膜
来源 :河北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yanglsm
【摘 要】
:
采用直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术方法,在Si(100)衬底上制备了金刚石薄膜,并在此基础上合成了含有少量晶态颗粒的非晶氮化碳薄膜。
【作 者】
:
于威
王淑芳
【机 构】
:
河北大学物理系
【出 处】
:
河北大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
直流辉光放电
化学气相沉积
金刚石
氮化碳
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采用直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术方法,在Si(100)衬底上制备了金刚石薄膜,并在此基础上合成了含有少量晶态颗粒的非晶氮化碳薄膜。
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