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为了研究超短激光辐照下半导体表面的热效应，采用有限差分法对双温方程进行了数值模拟，研究了飞秒、皮秒激光作用下，半导体表面载流子和晶格的温度分布情况。结果表明，载流子与晶格的温度耦合时间和金属耦合时间大致相同，激光功率密度是影响载流子温升的主要因素，超短脉冲激光入射时能量主要被半导体表层载流子吸收，所得结论与实验结果较吻合。