【摘 要】
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第 34卷 第 1期军用微电子技术发展战略思考徐世六 (1)………………基于 MEMS技术的微热电器件的研究进展陈 ,廖 波 ,孔德文 (7)…………………………工业工程部门在集
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第 34卷 第 1期军用微电子技术发展战略思考徐世六 (1)………………基于 MEMS技术的微热电器件的研究进展陈 ,廖 波 ,孔德文 (7)…………………………工业工程部门在集成电路制造企业中的作用与职责邵志芳 ,钱省三 (13)……………………………………电光检测技术空间分辨
Volume 34, Number 1 military microelectronics technology development strategy Xu Shiju (1) .................. MEMS-based research of micro-thermoelectric devices Chen Wei, Liao Bo, Kong Dewen (7) ............... ............... Roles and Responsibilities of Industrial Engineering Departments in Integrated Circuit Manufacturing Enterprises Shao Zhifang, Qian Shengsan (13)
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浓硫酸催化酯化反应有腐蚀设备,污染环境,后处理复杂等一系列弊病。有文报导用Nafion代替硫酸进行酯化反应的研究,由于Nafion的价格昂贵,尚未实现工业化。数年来,我们研究固
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