【摘 要】
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1.引言光伏CMT器件的成结工艺有多种,我们采用组分偏离法曾获得优良的结特性,但工艺重演性差,物理机构复杂。本文打算对热处理过程作一理论探讨,从而对PN结模式分析提供依据
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1.引言光伏CMT器件的成结工艺有多种,我们采用组分偏离法曾获得优良的结特性,但工艺重演性差,物理机构复杂。本文打算对热处理过程作一理论探讨,从而对PN结模式分析提供依据。
1. INTRODUCTION There are many kinds of processes for the formation of photovoltaic CMT devices. We used the composition deviation method to obtain excellent junction characteristics, but the process repeatability is poor and the physical mechanism is complex. This article intends to make a theoretical discussion of the heat treatment process, thus providing a basis for PN junction pattern analysis.
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