【摘 要】
：
采用射频磁控溅射方法制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜,研究了气体流量对薄膜晶体质量及光电性能的影响。测试结果表明,当氩气流量为70 m L/min时制备的薄膜结晶较好,方块电阻为8.25Ω
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十八研究所重点实验室
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射方法制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜,研究了气体流量对薄膜晶体质量及光电性能的影响。测试结果表明,当氩气流量为70 m L/min时制备的薄膜结晶较好,方块电阻为8.25Ω/□,电阻率为4.46×10-4Ω·cm,玻璃基底上可见光范围内的平均透过率为83.56%,综合性能最优,可用于CIGS薄膜太阳电池。采用光谱椭偏仪研究薄膜的光学特性,通过建模计算得到350~800 nm波段内AZO薄膜的光学常数,并通过作图法计算得到薄膜的光学禁带宽度为3.38 e V。
其他文献
介绍了淮钢特钢有限公司炼钢分析数据管理系统技改项目的应用，分析了光谱仪数据传送的各种方式之优缺点，提出以WEB方式对钢样分析数据进行处理与传输是快捷高效的数据处理模式，
人大代表约见政府官员，听起来似乎比较“新鲜”，被近年来的各种媒体报道冠之以某地人大“首创”、“创新”、“首次尝试”之类的说法。其实，这在我国的法律中早有明文规定。
平凉市人大常委会调研新选举法实施将面临哪些困难和问题 甘肃省平凉市人大常委会组织有关人员，深入部分县（区）、乡镇和街道办事处，就城乡按相同比例选举人大代表后，县、乡选区需
监督法施行以来，地方人大常委会运用审议意见监督“一府两院”工作．实践中遇到了一些有争议的问题，直接影响审议意见的正确实施和规范有效地运作。
随着电力电子技术的发展,各种精密性的数字化仪表应运而生。这些仪表要求有高质量和高可靠性的电源支撑。不间断电源UPS作为一种电源供应方式,在保证各种设备正常运转,保证电
在二次雷达中采用单脉冲来获得较高的测角精度，而和差道接收机的幅度和相位的不一致性会影响二次雷达的测角精度。本文采用一种在i、q数据求模后分别补偿幅度和相位的方法，其中
来自韩国的一支研究团队近日展示了常温且高能量密度的新型钠离子可允电电池，采用了基于二氧化硫的无机熔融复合物阴极电解质，可以同时充当钠离子导电介质和阴极材料。根据阴极
随着科学技术的不断发展，军事电子产品的生产和测试对自动测试技术提出了越来越高的要求。工作方式灵活、功能齐全的自动测试设备成为了军事电子产品生产和科研的必需设备。本