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采用磁控溅射法，在室温，溅射功率为80w的条件下，选取不同的压强，在石英玻璃和聚酯薄膜（PET）底上分别制成了高透过率的ITO薄膜，并进行了性能对比，并得出柔性衬底的性能最优时的压强范围。
磁控溅射法沉积ITO薄膜及其透过率分析
【摘 要】
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采用磁控溅射法，在室温，溅射功率为80w的条件下，选取不同的压强，在石英玻璃和聚酯薄膜（PET）底上分别制成了高透过率的ITO薄膜，并进行了性能对比，并得出柔性衬底的性能最优时的压强范
【机 构】
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中国地质大学能源学院
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
：
2013年14期
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