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芯片冷却技术中的微/纳米材料与结构的研究进展
芯片冷却技术中的微/纳米材料与结构的研究进展
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:houjhz
【摘 要】
:
分析和讨论了芯片冷却技术中应用到的微/纳米材料和结构方面的进展,并对其应用前景作了一定展望.这些内容对于发展新的芯片冷却技术及相关高热流密度器件的冷却应用具有重要
【作 者】
:
李腾
刘静
【机 构】
:
中国科学院理化技术研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2004年8期
【关键词】
:
微电子封装
芯片冷却
纳米材料
微机电系统
强化换热
微尺度传热
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分析和讨论了芯片冷却技术中应用到的微/纳米材料和结构方面的进展,并对其应用前景作了一定展望.这些内容对于发展新的芯片冷却技术及相关高热流密度器件的冷却应用具有重要的参考价值.
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