动态电场诱导氧化实现纳米结构的加工

• 作 者: 郭彤 胡晓东 胡小唐
• 机 构: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
• 出 处: 仪器仪表学报
• 发表日期: 2005年2期
• 关键词: 纳米结构 电场诱导氧化 加工 原子力显微镜(AFM) 动态 纳米电子器件 局部氧化 应用范围 机械结构 电场作用 生长速度 氧化物 功能性 纵横比 Dynami

利用原子力显微镜(AFM)进行表面的局部氧化加工是进行纳米结构加工的一种很有前途的方法.它具有广泛的应用范围,可以进行功能性纳米电子器件和纳米机械结构的加工.实验采用了动态电场作用下的AFM诱导氧化的方法,提高了氧化物的生长速度,并且改善了氧化结构的纵横比,能够更好地控制生成氧化物的结构和电属性.