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综述了分子束外延材料的表面缺陷－主要是椭圆缺陷－的种类、特征、起因、消除方法等，重点介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素，如Ｇａ小液滴、Ｇａ的氧化物及衬底沾污等，并提出相应的改进措施。
分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展
【摘 要】
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综述了分子束外延材料的表面缺陷－主要是椭圆缺陷－的种类、特征、起因、消除方法等，重点介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素，如Ｇａ小液滴、Ｇａ的氧化物及衬底沾污等，并提出相应的改进
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1997年4期
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