【摘 要】
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一、前言 随着社会主义建设的发展,我国真空技术的应用和研究日益广泛深入。已有的标准压缩式真空计的下限仅达到10-5乇(10-3 P a)量级[注;],已不能满足校准工作的需要。近十
【机 构】
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中国计量科学研究院,沈阳真空技术研究所,北京玻璃仪器厂
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一、前言 随着社会主义建设的发展,我国真空技术的应用和研究日益广泛深入。已有的标准压缩式真空计的下限仅达到10-5乇(10-3 P a)量级[注;],已不能满足校准工作的需要。近十多年来,对于扩展高真空、超高真空校准方面,国际上普遍采用动态流导法来解决。国内也有一些单位进行了
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