【摘 要】
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本文简述了扫描电声显微镜的成像过程,说明了电声显微镜所具有的非破坏性亚表面剖面成像能力,显示了它在检测涂层中气孔、裂纹、异质相等缺陷和涂层层状结构等方面的应用.
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【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所
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本文简述了扫描电声显微镜的成像过程,说明了电声显微镜所具有的非破坏性亚表面剖面成像能力,显示了它在检测涂层中气孔、裂纹、异质相等缺陷和涂层层状结构等方面的应用.
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