论文部分内容阅读
采用Ｓ偏振光和大入射角激光束干涉测量技术，检测ＬＳＩ圆片表面的芯片调平和调焦精度的方法已获得成功，在圆片上各层均能保持良好的调平调焦精度。这种检测方法的试验型，已实现了±１．０×１０＾－５的弧度调平精度和±０．１μｍ的调焦精度。
采用激光干涉测量法进行芯片高平调焦
【摘 要】
：
采用Ｓ偏振光和大入射角激光束干涉测量技术，检测ＬＳＩ圆片表面的芯片调平和调焦精度的方法已获得成功，在圆片上各层均能保持良好的调平调焦精度。这种检测方法的试验型，已实现了±
【机 构】
：
日立公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
1998年2期
其他文献
《鼓励孩子的100种方法》一书中,通过调查证明：教育孩子最有效的办法就激励教育。＂激励＂一词,包含着积极、阳光、快乐的育人理念,《语文课程标准（2011版）》指出：＂语文课程必须根据学
【摘 要】 小学英语教师不能应用重复化、抽象化、单一化的方式开展英语语音教学。本文提出了一套全新的小学英语语音教学的策略：引导学生自主发现语音的问题，引导学生应用科学的方法学习语音知识，引导学生用趣味的方法参与语音训练。 【关键词】 小学；英语；语音教学；策略 小学英语语音教学是小学英语教学的重要部分，如果小学生能在小学时代打好英语语音基础，以后学生在学习英语时就能应用正确的方式发音；反之，如
本文综述了Ｉ型生长因子受体家族三个主要成员的结构，功能，同源性及在正常组织中的分布，重点综述了三成员在肿瘤发生发展中的作用。激活机制及在肿瘤诊断，治疗，预后方面的应用前景。
食物中具有的防癌因子对某些癌，尤其是对消化系统癌瘤的预防占有十分重要的地位，原儿花胺酸又名３，４－二羟苯甲酸，有较强的抗氧化作用，它普遍存在于各种水果，蔬菜及坚果中，具有阻断一氧化
【正】记得三年级上学期时,期末考快到了,我的考卷一张一张的,乱七八糟。今天又是星期五,一放学,同学们就争先恐后地冲出教室。我匆匆忙忙地收拾考卷,因为太大意,一张语文试
【摘 要】 所谓语文教学，其目的在于培养学生的语文素养，而作为语文素养的核心——人文素养，必然成为语文教学中的关键，然而，在新课标改革以前，很多老师都忽视了对学生人文素养的培养。在新课标改革之后，鉴于人文是人类三大精神支柱之一，人文素养的提升成为了初中语文教学的首要任务。要想才根本意义上实现初中生人文素养的提升，教学者必然不可忽视学生文化底蕴的增强以及审美情趣的培养。 【关键词】 初中语文；人文
就区熔单晶炉下轴旋转系统中，通常出现力矩电机输出力矩阵低的问题，提出了采用稀土永磁电机的改型设计试验。实际应用表明，该系统运行情况中以满足设备正常使用。