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采用化学气相沉积法制备得到的硅/碳复合材料碳层致密均匀,电化学性能好,成为目前制备该复合材料应用较多的方法。介绍了化学气相沉积法制备的硅碳复合材料的主要复合形式及电化学性能,制备过程中不同催化剂、制备条件的选择等,综述了化学气相沉积法制备硅/碳复合材料的研究进展。对化学气相沉积法在制备硅/碳复合材料的研究方向上进行了展望、提出建议。