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本文介绍了利用多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,并对复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍.
多层复合真空离子镀膜技术的新发展
【摘 要】
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本文介绍了利用多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,并对复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍.
【机 构】
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中国天瑞星真空技术开发有限公司
【出 处】
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航天器环境工程
【发表日期】
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2003年1期
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